本文在MEMS工艺制备的电极型免疫微传感芯片的基础上，设计和制备微反应室以及微进出样沟道，利用SU-8胶和PDMS等材料搭建微流体系统，用以结合蠕动泵完成敏感膜固定化及进样和清洗等免疫检测操作过程，消除人为干扰，改善生物敏感膜制备以及免疫反应环境，探索提高生物敏感膜固化的稳定性和一致性，为提高免疫微传感器检测一致性的研究积累方法和经验。